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GSS602超聲掃描顯微鏡-非標IGBT
SHSIWI GSS602超聲掃描顯微鏡
技術規(guī)格書
一、基本信息
超聲掃描顯微鏡（SAT）是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測成像設備，主要利用高頻超聲波，對各類半導體器件、材料進行檢測，能夠檢測出樣品內(nèi)部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷，并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中，不會對樣品造成損傷，不會影響樣品性能，可滿足陶瓷基板、IGBT、水冷散熱器、電池、半導體、電器焊接件、金剛石復合材料、碳纖維復合材料等產(chǎn)品質控需求。
1.1 產(chǎn)品名稱
超聲掃描顯微鏡
1.2 數(shù)量
1臺
1.3 規(guī)格型號
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型號 |
機器示意圖 |
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SHSIWI GSS602 |
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注：上圖僅供參考，實際產(chǎn)品可能會有所差別
1.4 機電特性
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機電特性 |
規(guī)格型號 |
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整機尺寸 |
1000mm×900mm×1400mm（僅參考） |
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水槽尺寸 |
640mm×700mm×280mm |
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探測方式 |
反射式；雙C掃探頭配置 |
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有效掃描范圍 |
每個C掃探頭為400mm×280mm×150mm的掃描區(qū)域，且兩個C掃區(qū)域獨立，不支持掃描結果的拼接。 |
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掃描工作模式 |
支持A/B/C掃描，支持一次多層分層C掃 |
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******掃描速度 |
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圖像推薦分辨率 |
1～4000um |
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重復定位精度 |
X≤±0.003mm,Y≤±0.01mm |
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支持頻率范圍 |
10~230MHz |
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上下水 |
水壓注水，水泵排水。 |
二、廠務安裝條件
2.1 設備尺寸
設備整機尺寸1000mm（長）×900mm（寬）×1400mm（高）。安裝方案基于空間占用最小化和維護/服務條件最優(yōu)化的需要，保證在設備周圍留有500mm的空間，可以方便工作人員進行操作、維護。
2.2 電腦桌
設備配有電腦桌，用于安放鼠標、鍵盤及顯示器。用戶也可自行配備。
2.3 電力供應
工作電源：220V±10%/50Hz，1~2KW另外，設備配有UPS電源，以保護設備運行安全。
2.4 水源：
設備需要自來水、去離子水或者純凈水，并且需要定期更換。水溫要求：15～30℃
2.5 環(huán)境相對濕度：35℃≤50％RH
2.6 環(huán)境溫度要求：20～35℃
2.7 周邊環(huán)境：
不要放在強磁場、電磁波和產(chǎn)生高頻設備的旁邊。
減少振動。10Hz以下振動的******振幅 0.7μm PP以下。
灰塵少、濕氣少，沒有腐蝕性氣體的地方。
電源的變化，限制到最小。
為了防止地震的損壞，四周一定要固定。
三、設備主要配置表
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序號 |
名稱 |
規(guī)格 |
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1 |
掃描系統(tǒng) |
X軸：超高性能線性馬達，具有內(nèi)置磁力機構，配合精度0.1um 精度線性光柵尺精確定位； Y軸：絲桿模組； Z軸：步進馬達系統(tǒng)，一前一后各有 1 個 Z 軸, 可分別單獨對焦 |
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2 |
超聲探頭 |
根據(jù)IGBT常用探頭：配備50MHz1.0in*2顆，25MHZ2.0in*2顆 |
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3 |
超聲發(fā)射、接收器 |
帶寬500MHz |
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4 |
高速數(shù)據(jù)采集卡 |
采樣頻率 1GHz |
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5 |
工控機 |
Intel 12核處理器 i7-12700，16GB*2 內(nèi)存，2T +256SSD硬盤，Windows 10-64 位操作系統(tǒng)，USB 及網(wǎng)絡接口 |
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6 |
顯示器 |
兩個27"液晶顯示器 |
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7 |
檢測軟件 |
思為 超聲無損檢測軟件V2.0 |
四、IGBT模塊多層結構檢測能力
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測量能力 |
能力描述 |
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標準塊測量誤差 |
測量機械加工的標準塊，在軟件進行強度校準的前提下，超聲檢測多次測量誤差在±1%。 |
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多層掃描方式 |
具備多層掃描功能，可一次性掃描底板-DBC焊接層、DBC下銅層-DBC陶瓷結合層、DBC陶瓷-DBC上銅層、DBC上銅層-芯片焊接層、芯片-樹脂結合層缺陷。 最多可同時掃描50層。 |
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雙觸發(fā)模式 |
可選擇設置雙觸發(fā)模式，減少焊料層厚度變化導致的數(shù)據(jù)門偏離目標波形。 |
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缺陷識別能力 |
在測量系統(tǒng)厚度能力范圍內(nèi)，被測材料聲速在標準材料聲速±5%以內(nèi)的情況下，且超聲入射表面為平面的被測產(chǎn)品的水平方向的結合缺陷的識別能力為0.15毫米（15MHz、25MHz探頭）和0.07毫米（50MHz探頭）。 |
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缺陷著色與統(tǒng)計功能 |
可自由設置缺陷著色閾值對缺陷進行著色處理，根據(jù)著色效果，統(tǒng)計單一缺陷面積和整體缺陷面積及缺陷占比。 |
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定制服務 |
可根據(jù)客戶要求定制IGBT防水治具。 |
五、軟件功能
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軟件功能 |
功能描述 |
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手動掃描 |
可以通過手動的方式生成C掃描圖像，反映被檢焊接結合面結合情況，并以釬著率、缺陷面積等數(shù)值的形式顯示檢測結果。 |
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探頭與C掃圖像對位 |
可通過點擊C 掃圖的具體像素點將探頭移至與實際被檢工件相對應的位置。 |
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手動分析 |
對生成的C掃圖片可以進行各種編輯，包括加框（確認有效分析區(qū)域），測距，修改閾值，圖片剪裁，弧面補償?shù)取?/span> |
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多種掃描模式 |
（1） A掃描：查看超聲反射或透射波形； （2） B掃描：對某一截面內(nèi)的超聲波信號，以灰度或彩色的形式顯示在二維平面內(nèi)，橫坐標代表掃查機構的位移方向，縱坐標代表超聲波傳播的深度方向，反映缺陷在樣品內(nèi)的相對深度信息； （3） C掃描：對某一深度的截面進行掃描，是X-Y二維平面內(nèi)移動并選取A掃描特定深度的點的信號成像，顯示的是水平截面的缺陷信息； （4） 區(qū)域掃描：可自定義檢測區(qū)域，并對檢測區(qū)域進行掃描； （5） 批量掃描：對放置于水槽中的一種或多種工件進行自動檢測； （6） 一次多層掃：同時掃描≤50層。 |
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報告自動生成 |
可對檢測結果自動進行編輯并輸出報告文檔。 |
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探頭管理 |
可對不同型號探頭進行更換或編輯。 |
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一鍵自動校準 |
可自動對檢測設備坐標偏移及檢測系統(tǒng)能量變化，能實時校準系統(tǒng)漂移，保證檢測結果的準確性和穩(wěn)定性。 |
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不銹鋼標準強度 |
系統(tǒng)自帶滿足GBT 11259-2015《超聲波檢測用鋼對比試塊的制作與校驗方法》的不銹鋼標準塊。認定該不銹鋼標準塊的超聲反射強度=100 STSS（“STainless Steel Standard”的縮寫），其他所有材料的檢測相對于STSS做換算。 |
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缺陷檢測能 |
焊接缺陷、粘接缺陷、封裝分層、粘片空洞等區(qū)域和良好區(qū)域。 可對缺陷尺寸和面積進行自動統(tǒng)計和計算。也可根據(jù)客戶的要求，提供有償定制開發(fā)服務。 |
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聲速檢測 |
聲音在被測材質中的飛行速度檢測。 |
六、標準材料聲速表
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材料 |
聲速（m/s） |
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鋁 |
Aluminum |
6305 |
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鋼 |
Steel,common |
5920 |
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不銹鋼 |
Steel,stainless |
5740 |
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黃銅 |
Brass |
4399 |
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銅 |
Copper |
4720 |
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鐵 |
Iron |
5930 |
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銀 |
Sliver |
3607 |
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金 |
Gold |
3251 |
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鈦 |
Titanium |
5990 |
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聚氯乙烯 |
PVC |
2388 |
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樹脂 |
resin |
4076 |
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金剛石 |
diamond |
14000 |
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鋅 |
zinc |
4170 |
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有機玻璃 |
Organic glass |
2730 |
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陶瓷 |
ceramic |
5842 |
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錫 |
tin |
3230 |
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水 |
1500 |
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